| 代码 | 名称 | 当前价 | 涨跌幅 | 最高价 | 最低价 | 成交量(万) |
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据中国政府采购网公示,上海微电子装备(集团)股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目 ,设备数量为一台,成交金额1.1亿元。
公告显示,中标供应商名称为上海微电子装备(集团)股份有限公司 ,供应商地址为上海市张江高科技园区张东路1525号。中标货物名称为步进扫描式光刻机,货物型号为SSC800/10 。
张江高科直线拉升,截至发稿 ,涨超7.8%,最新股价报43.7元/股。
相关报道科技部1.09亿元下单上海微电子步进扫描式光刻机
企查查APP显示,近日 ,上海微电子装备(集团)股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目,中标金额约1.09亿元。据此前公告,招标方为科学技术部 。企查查信息显示 ,该公司成立于2002年,经营范围包含:半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发 、设计、制造、销售及技术服务等,由上海电气控股集团有限公司 、张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持股。
据了解,步进扫描光刻是一种混合光刻技术 ,结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势。该技术通过动态扫描方式同步移动掩膜版和晶圆,标准曝光尺寸为26 mm×33 mm,可增大曝光场并一次曝光多个芯片 ,其具备整个扫描过程的实时聚焦调节能力,适用于0.25μm以下的制造工艺,尤其在0.18μm节点及更先进工艺中广泛应用 。
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